.
-Lawang siji/loro
Bingkai lan kamar digawe saka stainless steel karbon.
Saben lawang menehi jendhela inspeksi kanggo kontrol visual saka proses.Tembok lawang nyedhiyakake liner stainless steel sing gampang dicopot kanggo pangopènan.
-Kamar vakum sing disesuaikan
Kamar kasebut nyedhiyakake liner stainless steel sing gampang dicopot kanggo ngresiki.
Pompa ngadeg ing sisih mburi.
Kamar kasebut nduweni seri flange cilik kanggo ngukur.
- Sistem pompa vakum sing dhuwur
Pompa Difusi + Pompa Booster + Pompa Mekanik
- Pengukuran lan kontrol vakum
Kanthi pengukur Pirani logam + pengukur Ionisasi logam
-Fixtures obah sistem
- Unit Kontrol PLC
-Sistem penguapan aluminium kanthi trafo daya dhuwur
- Rangka besi
Struktur kasebut cukup wajar
Lapisan film seragam
Kualitas mbentuk film
Kacepetan pompa dhuwur, siklus kerja sing cendhak lan efisiensi produksi sing dhuwur
Operasi trep
Konsumsi energi sing sithik lan kinerja sing stabil
Nomer Model | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Model loro lawang utawa rong kamar kasedhiya | |
Ukuran ruang vakum (diameter * dhuwur) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Bahan saka kamar vakum | Baja karbon, SUS304 utawa SUS316L | ||||||
Teknologi kerja | penguapan resistance vakum karo filamen tungsten & aluminium, transformator penguapan daya dhuwur | ||||||
Sistem pumping | Pompa difusi + pompa mekanik, pompa booster | ||||||
Wektu Pumping | Saka atmosfer kanggo 5,0 * 10-2Pa kurang saka 8 menit | ||||||
Watesan vakum | 5,0 * 10-4 Pa | ||||||
Suhu kerja | Suhu kamar | ||||||
Mode kerja | Mode otomatis utawa Manual, dening 10,4 inci PLC tutul layar | ||||||
Total Daya | 40-80 kW | 70-140kW | |||||
tapak sikil | 2*2 m | 2*3 m | 3*3 m | 3*3 m | 3*4m | 4*5m | 5*6m |
Unit kasebut bisa digawe kanthi khusus | 1. Ukuran kamar vakum 2. Konfigurasi saka pumps | ||||||
Instrumen opsional | 1. Detektor bocor 3. Sistem deposisi ion busur 4. Sistem sputtering Magntron |